Biriktirme
İçgörüler elde edin ve geliştirme sürecini hızlandırın.
Advanced Energy, kritik ince film biriktirme uygulamaları ve cihaz geometrileri için güç kaynağı ve kontrol çözümleri sunar.Plaka işleme zorluklarını çözmek için hassas güç dönüştürme çözümlerimiz, güç doğruluğunu, hassasiyeti, hızı ve proses tekrarlanabilirliğini optimize etmenize olanak tanır.
Proses plazmasını gerçekten daha iyi kontrol etmenizi sağlayan çok çeşitli RF frekansları, DC güç sistemleri, özelleştirilmiş güç çıkış seviyeleri, eşleştirme teknolojileri ve fiber optik sıcaklık izleme çözümleri sunuyoruz.Ayrıca süreç öngörüsü sağlamak ve geliştirme sürecini hızlandırmak için Fast DAQ™ ile veri toplama ve erişilebilirlik paketimizi de entegre ediyoruz.
İhtiyaçlarınıza uygun çözümü bulmak için yarı iletken üretim süreçlerimiz hakkında daha fazla bilgi edinin.
Mücadeleniz
Entegre devre boyutlarını modellemek için kullanılan filmlerden iletken ve yalıtkan filmlere (elektriksel yapılar) ve metal filmlere (ara bağlantı) kadar biriktirme süreçleriniz, yalnızca her bir özellik için değil, tüm plaka boyunca atomik düzeyde kontrol gerektirir.
Yapının ötesinde, biriktirilen filmlerinizin yüksek kalitede olması gerekir.İstenilen tanecik yapısına, tekdüzeliğe ve uyumlu kalınlığa sahip olmaları ve boşluksuz olmaları gerekir; bu, gerekli mekanik gerilimleri (basınç ve çekme) ve elektriksel özellikleri sağlamanın yanı sıra.
Karmaşıklık yalnızca artmaya devam ediyor.Litografi sınırlamalarını (1X nm'nin altındaki düğümler) ele almak için, kendinden hizalanmış çift ve dörtlü desen oluşturma teknikleri, biriktirme işleminizin deseni her plaka üzerinde üretmesini ve yeniden üretmesini gerektirir.
Bizim çözümümüz
En kritik biriktirme uygulamalarını ve cihaz geometrilerini devreye alırken güvenilir bir pazar liderine ihtiyacınız vardır.
Advanced Energy'nin RF güç dağıtımı ve yüksek hızlı eşleştirme teknolojisi, tüm gelişmiş PECVD ve PEALD biriktirme işlemleri için gereken güç doğruluğunu, hassasiyetini, hızını ve işlem tekrarlanabilirliğini özelleştirmenize ve optimize etmenize olanak tanır.
Yapılandırılabilir ark tepkisine, güç doğruluğuna, hıza ve gerekli PVD (püskürtme) ve ECD biriktirme işlemlerinin tekrarlanabilirliğine ince ayar yapmak için DC jeneratör teknolojimizi kullanın.
Faydalar
● Geliştirilmiş plazma stabilitesi ve proses tekrarlanabilirliği verimi artırır
● Tam dijital kontrolle hassas RF ve DC iletimi, süreç verimliliğinin optimize edilmesine yardımcı olur
● Plazma değişikliklerine ve ark yönetimine hızlı yanıt
● Uyarlanabilir frekans ayarlamalı çok seviyeli darbe, aşındırma hızı seçiciliğini artırır
● Maksimum çalışma süresi ve ürün performansı sağlamak için küresel destek mevcuttur