İfade
İçgörüler edinin ve geliştirme sürecini hızlandırın.
Advanced Energy, kritik ince film biriktirme uygulamaları ve cihaz geometrileri için güç kaynağı ve kontrol çözümleri sunar. Wafer işleme zorluklarını çözmek için hassas güç dönüştürme çözümlerimiz, güç doğruluğunu, hassasiyeti, hızı ve işlem tekrarlanabilirliğini optimize etmenize olanak tanır.
Proses plazmasını daha iyi kontrol etmenizi gerçekten sağlayan geniş bir RF frekansları, DC güç sistemleri, özelleştirilmiş güç çıkış seviyeleri, eşleştirme teknolojileri ve fiber optik sıcaklık izleme çözümleri yelpazesi sunuyoruz. Ayrıca, proses içgörüsü sağlamak ve geliştirme sürecini hızlandırmak için Fast DAQ™ ve veri toplama ve erişilebilirlik paketimizi entegre ediyoruz.
İhtiyaçlarınıza uygun çözümü bulmak için yarı iletken üretim süreçlerimiz hakkında daha fazla bilgi edinin.
Senin Meydan Okuman
Entegre devre boyutlarını desenlemek için kullanılan filmlerden iletken ve yalıtkan filmlere (elektriksel yapılar) ve metal filmlere (bağlantı) kadar biriktirme süreçleriniz, yalnızca her bir özellik için değil, aynı zamanda tüm yonga boyunca atomik düzeyde kontrol gerektirir.
Yapının kendisinin ötesinde, biriktirdiğiniz filmler yüksek kalitede olmalıdır. İstenilen tane yapısına, tekdüzeliğe ve konformal kalınlığa sahip olmalı ve boşluksuz olmalıdır - ve buna ek olarak gerekli mekanik gerilimleri (basınç ve çekme) ve elektriksel özellikleri sağlamalıdır.
Karmaşıklık artmaya devam ediyor. Litografi sınırlamalarını (1X nm altı düğümler) ele almak için, kendi kendine hizalanmış çift ve dörtlü desenleme teknikleri, biriktirme işleminizin her bir gofret üzerinde deseni üretmesini ve yeniden üretmesini gerektirir.
Çözümümüz
En kritik biriktirme uygulamalarını ve cihaz geometrilerini dağıttığınızda güvenilir bir pazar liderine ihtiyacınız vardır.
Advanced Energy'nin RF güç dağıtımı ve yüksek hızlı eşleştirme teknolojisi, tüm gelişmiş PECVD ve PEALD biriktirme prosesleri için gerekli olan güç doğruluğunu, hassasiyeti, hızı ve proses tekrarlanabilirliğini özelleştirmenize ve optimize etmenize olanak tanır.
PVD (püskürtme) ve ECD biriktirme prosesleriniz için gereken yapılandırılabilir ark tepkinizi, güç doğruluğunuzu, hızınızı ve işlem tekrarlanabilirliğinizi hassas bir şekilde ayarlamak için DC jeneratör teknolojimizi kullanın.
Faydalar
● Geliştirilmiş plazma kararlılığı ve işlem tekrarlanabilirliği verimi artırır
● Tam dijital kontrol ile hassas RF ve DC iletimi, proses verimliliğinin optimize edilmesine yardımcı olur
● Plazma değişikliklerine ve ark yönetimine hızlı yanıt
● Uyarlanabilir frekans ayarlaması ile çok seviyeli darbeleme, aşındırma oranı seçiciliğini artırır
● Maksimum çalışma süresi ve ürün performansını garantilemek için küresel destek mevcuttur