MSB Serisi Orta Frekanslı Püskürtme Güç Kaynağı
-
MSB Serisi Orta Frekanslı Püskürtme Güç Kaynağı
RHH serisi RF güç kaynağı, müşterilere daha fazla güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı yanıt sağlayan RF güç kaynağı sağlamak için olgun RF üretim teknolojisine güvenir. Faz ayarlanabilir, darbe kontrol edilebilir, dijital ayar ve diğer işlevlerle. Uygulanabilir alanlar: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.
Uygulanabilir prosesler: plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma aşındırma, plazma temizleme, radyo frekanslı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme, vb.