MSB Serisi Orta Frekans Püskürtme Güç Kaynağı

Kısa Açıklama:

RHH serisi RF güç kaynağı, müşterilere daha fazla güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı yanıt veren RF güç kaynağı sağlamak için olgun RF nesil teknolojisine dayanır.Faz ayarlanabilir, darbe kontrol edilebilir, dijital ayar ve diğer işlevler yapılabilir.Uygulanabilir alanlar: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.

Uygulanabilir işlemler: plazmayla güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma aşındırma, plazma temizleme, radyo frekansı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme vb.

Ürün ayrıntısı

Ürün etiketleri

Bize e-posta gönder

Özellikler

● Yarım tuğla ve rafa montaj stilleri

● Kullanışlı ve zengin çalışma menüsüyle tam dijital kontrolü benimseyin

● Frekans ayarlama, darbe ve darbe senkronizasyon fonksiyonları

● CEX faz senkronizasyon fonksiyonu ile

● Mükemmel koruma fonksiyonu

Ürün ayrıntısı

Giriş	Giriş voltajı: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Özel özellikler özelleştirilebilir)
Giriş	Giriş frekansı: 47~63Hz
Çıktı	Çıkış frekansı: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Ayar aralığı: ±5%
	Çıkış gücü: 1,5~5kW
	Çıkış gücünün düzenleme aralığı: %1~100
	Çıkış empedansı: 50Ω+j0
	Çıkış arayüzü: N tipi
	Çıkış modu: sürekli, darbe
	Darbe frekansı: 100Hz~100kHz
	Görev döngüsü: %5~95
Performans endeksi	Güç faktörü: 0,98
	Frekans kararlılığı doğruluğu: ±%0,005
	Verimlilik: %75 (nominal çıkışta)
	Harmonik: <-45dBc
	Kaçak: ＜-50dBc
	Harici kontrol arayüzü: analog miktar, iletişim ve senkronizasyon
	İletişim modu: Standart RS485 iletişim arayüzü;İsteğe bağlı Ether CAT, endüstriyel Ethernet vb.
Not: Ürün yeniliklere devam ediyor ve performans gelişmeye devam ediyor.Bu parametre açıklaması yalnızca referans amaçlıdır.