RHH Serisi RF Güç Kaynağı
-
RHH Serisi RF Güç Kaynağı
RHH serisi RF güç kaynağı, müşterilere daha fazla güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı yanıt veren RF güç kaynağı sağlamak için olgun RF nesil teknolojisine dayanır.Faz ayarlanabilir, darbe kontrol edilebilir, dijital ayar ve diğer işlevler yapılabilir.Uygulanabilir alanlar: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.
Uygulanabilir işlemler: plazmayla güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma aşındırma, plazma temizleme, radyo frekansı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme vb.