RLS serisi RF güç kaynağına uyarlanabilir ve plazma dağlama, kaplama, plazma temizleme, plazma zamk giderme ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılır.Tek başına kullanıldığında diğer üreticilerin RF güç kaynaklarıyla birlikte kullanılabilir.