TPM5 Serisi Güç Kontrol Cihazı
-
TPM5 Serisi Güç Kontrol Cihazı
TPM5 serisi güç kontrolörü modül tasarım fikrini benimser ve içine 6'ya kadar devre entegre eder. Ürünler çoğunlukla difüzyon fırınlarında, PECVD'de, epitaksi fırınlarında vb. kullanılır.