TPM5 Serisi Güç Kontrol Cihazı
-
TPM5 Serisi Güç Kontrol Cihazı
TPM5 serisi güç kontrol cihazı, modül tasarım fikrini benimser ve içinde 6'ya kadar devreyi entegre eder.Ürünler ağırlıklı olarak difüzyon fırınlarında, PECVD'de, epitaksi fırınlarında vb. kullanılmaktadır.