TPM5 Serisi Güç Kontrol Cihazı
-
TPM5 Serisi Güç Kontrol Cihazı
TPM5 serisi güç kontrol cihazı, modül tasarım fikrini benimser ve içinde 6'ya kadar devreyi entegre eder. Ürünler ağırlıklı olarak difüzyon fırınlarında, PECVD'de, epitaksi fırınlarında vb. kullanılmaktadır.